新一代平面研磨拋光機中采用超聲波振動修整法，能使工件迅速達到理想的鏡面效果，主要由超聲波發生器、換能器等所組成，在進行修整的時候，會將超聲波振動修整的裝置調到振動狀態，當修整磨粒的時候會通過砂輪與修整的元件之間的時候，會利用修整的元件進行能量的傳遞，能夠有效的去除砂輪表面的幾何級，使其磨粒會突出砂輪的表面。
新一代平面研磨拋光機為精密研磨拋光設備，被磨、拋材料放于平整的研磨盤上，研磨盤逆時鐘轉動，修正輪帶動工件自轉，重力加壓或其它方式對工件施壓，工件與研磨盤作相對運轉磨擦，來達到研磨拋光目的，由于這種方法主要是采用振動方式，在修整磨粒的本身會帶有一定的能量，因此能夠得到比較良好的修整效果，廣泛用于LED藍寶石襯底、光學玻璃晶片、石英晶片、硅片、諸片、模具、導光板、光扦接頭等各種材料的單面研磨、拋光。
